بسته به روش تولید، محصولات نیترید سیلیکون را می توان به محصولات پخت واکنش، محصولات پرس گرم، محصولات تف جوشی اتمسفر، محصولات پرس ایزواستاتیک و محصولات پخت مجدد واکنش تقسیم کرد. در این میان، تف جوشی واکنشی روشی پرکاربرد برای تولید محصولات دیرگداز نیترید سیلیکون است.
روش تف جوشی واکنشی این امکان را فراهم می کند که از نیترید سیلیکون با پرس یا پرس ایزواستاتیک پودر سیلیکون ریز آسیاب شده (اندازه ذرات از 80 میکرون تجاوز نمی کند)، خشک کردن بدنه سبز، حرارت دادن آن به 1350-1400 درجه در نیتروژن و نیتروژن در طول فرآیند پخت، به دست آید. در این روش تولید، شرایط مواد اولیه، فرآیند پخت و جو تأثیر زیادی بر ویژگی های محصول دارد.
پودر سیلیکون حاوی ناخالصی های زیادی مانند آهن، کلسیم، آل، تیتانیم و غیره است که آهن به عنوان یک کاتالیزور در فرآیند واکنش در نظر گرفته می شود. می تواند انتشار سیلیکون را تقویت کند، اما در عین حال می تواند باعث نقص هایی مانند منافذ شود. نقش اصلی Fe به عنوان یک افزودنی است: می تواند به عنوان یک کاتالیزور در فرآیند واکنش عمل کند و باعث تشکیل یک فیلم اکسیدی SiO2 بر روی سطح محصول شود. یک سیستم ذوب آهن-سیلیکون تشکیل میدهند و نیتروژن در FeSi2 مایع حل میشود و باعث تشکیل -Si3N4 میشود. اما اگر ذرات آهن بیش از حد بزرگ باشد و یا محتوای آنها زیاد باشد، عیوبی مانند منافذ در محصول ظاهر می شود که باعث کاهش عملکرد آن می شود. به طور معمول، مقدار آهن اضافه شده 0-5٪ است. ناخالصی هایی مانند Al، Ca و Ti به راحتی با سیلیکون یک یوتکتیک کم را تشکیل می دهند. مقادیر مناسب افزودنیها میتواند باعث افزایش پخت و بهبود عملکرد محصول شود.
هرچه اندازه ذرات پودر سیلیکون ریزتر باشد، سطح ویژه بزرگتر و دمای پخت کمتر می شود. در مقایسه با پودر سیلیکون بزرگتر، پودر سیلیکون ریزتر حاوی -Si3N4 بیشتری در محصول است. کاهش اندازه ذرات پودر سیلیکون می تواند اندازه منافذ میکروسکوپی را در محصول کاهش دهد. نسبت اندازه ذرات مناسب می تواند چگالی محصول را افزایش دهد.
دما تأثیر زیادی بر سرعت نیترید شدن دارد. واکنش نیترید در دمای 970-1000 درجه شروع می شود و سرعت واکنش در دمای حدود 1250 درجه تسریع می شود. در مرحله دمای بالا، چون یک واکنش گرمازا است، اگر دما به سرعت از نقطه ذوب سیلیکون (1420 درجه) فراتر رود، ممکن است جریان سیلیکون رخ دهد و پریفرم های قوی پودر سیلیکون ذوب شده و شکسته می شوند.