نیترید سیلیکون را می توان در حالت های سبز، بیسکویی یا کاملاً متراکم پردازش کرد. در حالت سبز یا بیسکویتی، پردازش آن برای ایجاد اشکال هندسی پیچیده نسبتا آسان است. با این حال، فرآیند تف جوشی مورد نیاز برای متراکم شدن کامل مواد باعث می شود که بدنه نیترید سیلیکون تقریباً 20٪ منقبض شود.
این انقباض به این معنی است که در هنگام پردازش نیترید سیلیکون قبل از تف جوشی نمی توان به تلرانس های بسیار فشرده دست یافت. برای دستیابی به تلورانس های بسیار کم، مواد کاملاً پخته شده باید با استفاده از ابزارهای الماسی ماشینکاری/آسیاب شوند. در این فرآیند از یک ابزار/چرخ روکش الماس بسیار دقیق برای حذف مواد به شکل دلخواه استفاده می شود. به دلیل -سختی و سختی ذاتی مواد، این می‌تواند فرآیندی زمان‌بر و پرهزینه باشد.