سنتز نیترید سیلیکون برای اولین بار در سال 1857 توسط هانری ادوارد سنت -کلر دویل و فردریش ویلر گزارش شد. در سنتز آنها، یک بوته حاوی سیلیکون در یک بوته پر از کربن قرار داده شد و برای کاهش نفوذ اکسیژن حرارت داده شد. آنها محصولی را گزارش کردند که آن را نیترید سیلیکون نامیدند، اما قادر به تعیین ترکیب شیمیایی آن نبودند.
در سال 1879، پل شوتزنبرگر این محصول را با حرارت دادن سیلیکون مخلوط با مواد آستر (خمیری که می تواند به عنوان پوشش بوته، ساخته شده از مخلوط زغال چوب، بریکت زغال سنگ یا کک با خاک رس استفاده شود) در یک کوره بلند تهیه کرد و آن را به عنوان ترکیبی با ترکیب Si3N4 گزارش کرد. در سال 1910، لودویگ وایس و تئودور انگلهارت Si3N4 را با حرارت دادن سیلیکون عنصری در نیتروژن خالص تهیه کردند. در سال 1925، فریدریش و سیتیگ نیترید سیلیکون را با حرارت دادن دی اکسید سیلیکون و کربن در اتمسفر نیتروژن تا 1250-1300 درجه با استفاده از احیای حرارتی کربن سنتز کردند.