ساخت پودر فلز سیلیکون بسیار ساده است. شما به سادگی مقدار مشخصی از پودر سیلیکون درشت را در یک قوس پلاسمایی گاز بی اثر قرار می دهید و آن را تا دمای بالا گرم می کنید و باعث می شود پودر سیلیکون به بخار سیلیکون تبدیل شود. سپس این بخار سرد شده و به پودر فلز سیلیکون در سطح نانو تبدیل می شود.
روش رسوب بخار شیمیایی: سیلان به سیلیسیم و هیدروژن تقسیم می شود که هیدروژن فراوان باشد و از گرما یا نور استفاده شود. به سرعت به گاز تبدیل می شود که از آن پودر نانوسیلیکون به دست می آید.
روش سنگ زنی گلوله ای: مواد سیلیکونی بزرگتر توسط ماشینی با استفاده از اصطکاک و برخورد بین ذرات به پودرهایی در اندازه نانو آسیاب می شوند. پودر فلز سیلیکون تولید شده توسط توپ سنگ زنی دارای محتوای ناخالصی بالایی است، توزیع اندازه ذرات را نمی توان به خوبی کنترل کرد و پردازش بعدی نسبتاً دست و پا گیر است.